Semicerabied met trots aanGa2O3Epitaksie, 'n moderne oplossing wat ontwerp is om die grense van kragelektronika en opto-elektronika te verskuif. Hierdie gevorderde epitaksiale tegnologie maak gebruik van die unieke eienskappe van Gallium Oxide (Ga2O3) om voortreflike werkverrigting in veeleisende toepassings te lewer.
Sleutel kenmerke:
• Uitsonderlike wye bandgap: Ga2O3Epitaksiebeskik oor 'n ultrawye bandgaping, wat voorsiening maak vir hoër afbreekspannings en doeltreffende werking in hoëkragomgewings.
•Hoë termiese geleidingsvermoë: Die epitaksiale laag bied uitstekende termiese geleidingsvermoë, wat stabiele werking verseker selfs onder hoë-temperatuur toestande, wat dit ideaal maak vir hoëfrekwensie toestelle.
•Uitstekende materiaalkwaliteit: Bereik hoë kristalgehalte met minimale defekte, wat optimale toestelwerkverrigting en langlewendheid verseker, veral in kritieke toepassings soos kragtransistors en UV-detektors.
•Veelsydigheid in toepassings: Perfek geskik vir kragelektronika, RF-toepassings en optiese elektronika, wat 'n betroubare grondslag bied vir die volgende generasie halfgeleiertoestelle.
Ontdek die potensiaal vanGa2O3Epitaksiemet Semicera se innoverende oplossings. Ons epitaksiale produkte is ontwerp om aan die hoogste standaarde van kwaliteit en werkverrigting te voldoen, wat jou toestelle in staat stel om met maksimum doeltreffendheid en betroubaarheid te werk. Kies Semicera vir die nuutste halfgeleiertegnologie.
| Items | Produksie | Navorsing | Dummy |
| Kristal parameters | |||
| Politipe | 4H | ||
| Oppervlakoriëntasiefout | <11-20 >4±0.15° | ||
| Elektriese parameters | |||
| Dopant | n-tipe stikstof | ||
| Weerstand | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganiese parameters | |||
| Deursnee | 150,0±0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre plat oriëntasie | [1-100]±5° | ||
| Primêre plat lengte | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekondêre woonstel | Geen | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Buig | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Skerring | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Voorkant (Si-face) grofheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuur | |||
| Mikropypdigtheid | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metaal onsuiwerhede | ≤5E10atome/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Voorste kwaliteit | |||
| Voorkant | Si | ||
| Oppervlakafwerking | Si-gesig CMP | ||
| Deeltjies | ≤60ea/wafer (grootte≥0.3μm) | NA | |
| Skrape | ≤5ea/mm. Kumulatiewe lengte ≤Diameter | Kumulatiewe lengte≤2*Deursnee | NA |
| Lemoenskil/pitte/vlekke/strepe/ krake/besmetting | Geen | NA | |
| Randskyfies/inkepings/breuk/hex plate | Geen | ||
| Politipe areas | Geen | Kumulatiewe oppervlakte≤20% | Kumulatiewe oppervlakte≤30% |
| Voorste lasermerk | Geen | ||
| Terug kwaliteit | |||
| Agterafwerking | C-gesig CMP | ||
| Skrape | ≤5ea/mm, Kumulatiewe lengte≤2*Deursnee | NA | |
| Rugdefekte (randskyfies/inkepings) | Geen | ||
| Rugheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermerk op die rug | 1 mm (van die boonste rand) | ||
| Rand | |||
| Rand | Chamfer | ||
| Verpakking | |||
| Verpakking | Epi-gereed met vakuumverpakking Multi-wafer-kassetverpakking | ||
| *Nota: "NA" beteken geen versoek Items wat nie genoem word nie, kan verwys na SEMI-STD. | |||
