Semicerastel met trots sy bekend4" galliumoksied substrate, 'n baanbrekende materiaal wat ontwerp is om aan die groeiende eise van hoëprestasie-halfgeleiertoestelle te voldoen. Galliumoksied (Ga2O3) substrate bied 'n ultrawye bandgaping, wat hulle ideaal maak vir die volgende generasie kragelektronika, UV-opto-elektronika en hoëfrekwensietoestelle.
Sleutel kenmerke:
• Ultrawye bandgaping: Die4" galliumoksied substratespog met 'n bandgaping van ongeveer 4.8 eV, wat voorsiening maak vir buitengewone spanning- en temperatuurtoleransie, wat aansienlik beter presteer as tradisionele halfgeleiermateriale soos silikon.
•Hoë afbreekspanning: Hierdie substrate stel toestelle in staat om teen hoër spanning en kragte te werk, wat hulle perfek maak vir hoëspanningtoepassings in kragelektronika.
•Uitstekende termiese stabiliteit: Galliumoksiedsubstrate bied uitstekende termiese geleidingsvermoë, wat stabiele werkverrigting onder uiterste toestande verseker, ideaal vir gebruik in veeleisende omgewings.
•Hoë materiaal kwaliteit: Met lae defekdigthede en hoë kristalgehalte verseker hierdie substrate betroubare en konsekwente werkverrigting, wat die doeltreffendheid en duursaamheid van jou toestelle verbeter.
•Veelsydige toepassing: Geskik vir 'n wye reeks toepassings, insluitend kragtransistors, Schottky-diodes en UV-C LED-toestelle, wat innovasies in beide krag- en opto-elektroniese velde moontlik maak.
Verken die toekoms van halfgeleiertegnologie met Semicera's4" galliumoksied substrate. Ons substrate is ontwerp om die mees gevorderde toepassings te ondersteun, wat die betroubaarheid en doeltreffendheid bied wat nodig is vir vandag se nuutste toestelle. Vertrou Semicera vir kwaliteit en innovasie in jou halfgeleiermateriaal.
| Items | Produksie | Navorsing | Dummy |
| Kristal parameters | |||
| Politipe | 4H | ||
| Oppervlakoriëntasiefout | <11-20 >4±0.15° | ||
| Elektriese parameters | |||
| Dopant | n-tipe stikstof | ||
| Weerstand | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganiese parameters | |||
| Deursnee | 150,0±0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre plat oriëntasie | [1-100]±5° | ||
| Primêre plat lengte | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekondêre woonstel | Geen | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Buig | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Skerring | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Voorkant (Si-face) grofheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuur | |||
| Mikropypdigtheid | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metaal onsuiwerhede | ≤5E10atome/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Voorste kwaliteit | |||
| Voorkant | Si | ||
| Oppervlakafwerking | Si-gesig CMP | ||
| Deeltjies | ≤60ea/wafer (grootte≥0.3μm) | NA | |
| Skrape | ≤5ea/mm. Kumulatiewe lengte ≤Diameter | Kumulatiewe lengte≤2*Deursnee | NA |
| Lemoenskil/pitte/vlekke/strepe/ krake/besmetting | Geen | NA | |
| Randskyfies/inkepings/breuk/hex plate | Geen | ||
| Politipe areas | Geen | Kumulatiewe oppervlakte≤20% | Kumulatiewe oppervlakte≤30% |
| Voorste lasermerk | Geen | ||
| Terug kwaliteit | |||
| Agterafwerking | C-gesig CMP | ||
| Skrape | ≤5ea/mm, Kumulatiewe lengte≤2*Deursnee | NA | |
| Rugdefekte (randskyfies/inkepings) | Geen | ||
| Rugheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermerk op die rug | 1 mm (van die boonste rand) | ||
| Rand | |||
| Rand | Chamfer | ||
| Verpakking | |||
| Verpakking | Epi-gereed met vakuumverpakking Multi-wafer-kassetverpakking | ||
| *Nota: "NA" beteken geen versoek Items wat nie genoem word nie, kan verwys na SEMI-STD. | |||
