Tantaalkarbied (TaC) bedekkings met hoë suiwerheid, hoë temperatuurstabiliteit en hoë chemiese weerstand

Kort beskrywing:

TaC-bedekking is 'n nuwe generasie hoëtemperatuurbestande materiaal, met 'n beter hoë temperatuurstabiliteit as SiC, aangesien 'n korrosiebestande deklaag, oksidasiebestande bedekking, slytvaste bedekking in die omgewing bo 2000 ℃ gebruik kan word, wyd gebruik word in lugvaart ultra- hoë temperatuur warm einde dele, die derde generasie van halfgeleier enkelkristal groei en ander velde.


Produkbesonderhede

Produk Tags

Semicera Semicera verskaf gespesialiseerde tantaalkarbied (TaC) coatings vir verskeie komponente en draers.Semicera Semicera toonaangewende deklaagproses stel tantaalkarbied (TaC)-bedekkings in staat om hoë suiwerheid, hoë temperatuurstabiliteit en hoë chemiese verdraagsaamheid te bereik, wat die kwaliteit van die produk van SIC/GAN-kristalle en EPI-lae verbeter (Grafietbedekte TaC-susceptor), en die lewensduur van sleutelreaktorkomponente verleng.Die gebruik van tantaalkarbied TaC-bedekking is om die randprobleem op te los en die kwaliteit van kristalgroei te verbeter, en Semicera Semicera het deurbraak die tantaalkarbiedbedekkingstegnologie (CVD) opgelos en die internasionale gevorderde vlak bereik.

Na jare se ontwikkeling het Semicera die tegnologie van verowerCVD TaCmet die gesamentlike pogings van die R&D-afdeling.Defekte is maklik om te voorkom in die groeiproses van SiC-wafers, maar na gebruikTaC, die verskil is beduidend.Hieronder is 'n vergelyking van wafers met en sonder TaC, sowel as Simicera se dele vir enkelkristalgroei

微信图片_20240227150045

met en sonder TAC

微信图片_20240227150053

Na gebruik van TaC (regs)

Boonop is die lewensduur van Semicera se TaC-bedekkingsprodukte langer en meer bestand teen hoë temperature as dié van SiC-bedekking.Na 'n lang tyd van laboratoriummetingsdata, kan ons TAC vir 'n lang tyd teen 'n maksimum van 2300 grade Celsius werk.Die volgende is 'n paar van ons voorbeelde:

微信截图_20240227145010

(a) Skematiese diagram van SiC-enkelkristal-staafgroeitoestel volgens PVT-metode (b) Top TaC-bedekte saadbeugel (insluitend SiC-saad) (c) TAC-bedekte grafietgeleidering

ZDFVzCFV
Hoof funksie
Semicera Werkplek
Semicera werkplek 2
Toerusting masjien
CNN-verwerking, chemiese skoonmaak, CVD-bedekking
Ons diens

  • Vorige:
  • Volgende: