Tantaalkarbied-bedekte susceptorsteunplaatis 'n susceptor of steunstruktuur wat bedek is met 'n dun laag vantantaalkarbied. Hierdie deklaag kan op die susceptor-oppervlak gevorm word deur tegnieke soos fisiese dampneerslag (PVD) of chemiese dampneerslag (CVD), wat die susceptor die voortreflike eienskappe vantantaalkarbied.
Semicera verskaf gespesialiseerde tantaalkarbied (TaC) bedekkings vir verskeie komponente en draers.Semicera toonaangewende deklaagproses stel tantaalkarbied (TaC)-bedekkings in staat om hoë suiwerheid, hoë temperatuurstabiliteit en hoë chemiese verdraagsaamheid te bereik, wat die kwaliteit van die produk van SIC/GAN-kristalle en EPI-lae verbeter (Grafietbedekte TaC-susceptor), en die lewensduur van sleutelreaktorkomponente verleng. Die gebruik van tantaalkarbied-TAC-bedekking is om die randprobleem op te los en die kwaliteit van kristalgroei te verbeter, en Semicera het deurbraak die tantaalkarbiedbedekkingstegnologie (CVD) opgelos en die internasionale gevorderde vlak bereik.
Na jare se ontwikkeling het Semicera die tegnologie van verowerCVD TaCmet die gesamentlike pogings van die R&D-afdeling. Defekte is maklik om te voorkom in die groeiproses van SiC-wafers, maar na gebruikTaC, die verskil is beduidend. Hieronder is 'n vergelyking van wafers met en sonder TaC, sowel as Simicera se dele vir enkelkristalgroei.
Die hoofkenmerke van tantaalkarbied-bedekte basissteunplate sluit in:
1. Hoë temperatuurstabiliteit: Tantaalkarbied het uitstekende hoë temperatuurstabiliteit, wat die bedekte basissteunplaat geskik maak vir ondersteuningsbehoeftes in hoë temperatuur werksomgewings.
2. Korrosiebestandheid: Tantaalkarbiedbedekking het goeie korrosiebestandheid, kan chemiese korrosie en oksidasie weerstaan, en verleng die lewensduur van die basis.
3. Hoë hardheid en slytasieweerstand: Die hoë hardheid van tantaalkarbiedbedekking gee die basissteunplaat goeie slytasieweerstand, wat geskik is vir geleenthede wat hoë slytasieweerstand vereis.
4. Chemiese stabiliteit: Tantaalkarbied het 'n hoë stabiliteit teenoor 'n verskeidenheid chemiese stowwe, wat die bedekte basissteunplaat goed laat presteer in sommige korrosiewe omgewings.
met en sonder TAC
Na gebruik van TaC (regs)
Verder, Semicera'sTaC-bedekte produktetoon 'n langer dienslewe en groter hoë-temperatuur weerstand in vergelyking metSiC-bedekkings.Laboratoriummetings het getoon dat onsTaC-bedekkingskan konsekwent presteer by temperature tot 2300 grade Celsius vir lang tydperke. Hieronder is 'n paar voorbeelde van ons voorbeelde:
