Inleiding tot CVD TaC Coating:
CVD TaC Coating is 'n tegnologie wat chemiese dampneerslag gebruik om tantaalkarbied (TaC) laag op die oppervlak van 'n substraat neer te sit. Tantaalkarbied is 'n hoëprestasie-keramiekmateriaal met uitstekende meganiese en chemiese eienskappe. Die CVD-proses genereer 'n eenvormige TaC-film op die oppervlak van die substraat deur gasreaksie.
Belangrikste kenmerke:
Uitstekende hardheid en slytasieweerstand: Tantaalkarbied het uiters hoë hardheid, en CVD TaC Coating kan die slytweerstand van die substraat aansienlik verbeter. Dit maak die deklaag ideaal vir toepassings in omgewings met hoë slytasie, soos snygereedskap en vorms.
Hoë temperatuur stabiliteit: TaC-bedekkings beskerm kritieke oond- en reaktorkomponente by temperature tot 2200°C, wat goeie stabiliteit toon. Dit handhaaf chemiese en meganiese stabiliteit onder uiterste temperatuurtoestande, wat dit geskik maak vir hoëtemperatuurverwerking en toepassings in hoëtemperatuuromgewings.
Uitstekende chemiese stabiliteit: Tantaalkarbied het sterk korrosiebestandheid teen die meeste sure en alkalieë, en CVD TaC Coating kan effektief skade aan die substraat in korrosiewe omgewings voorkom.
Hoë smeltpunt: Tantaalkarbied het 'n hoë smeltpunt (ongeveer 3880°C), wat dit moontlik maak om CVD TaC Coating in uiterste hoë temperatuur toestande te gebruik sonder om te smelt of af te breek.
Uitstekende termiese geleidingsvermoë: TaC-bedekking het hoë termiese geleidingsvermoë, wat help om hitte doeltreffend in hoë-temperatuur prosesse te versprei en plaaslike oorverhitting te voorkom.
Potensiële toepassings:
• Gallium Nitride (GaN) en Silicon Carbide epitaksiale CVD-reaktorkomponente insluitend wafer-draers, satellietskottels, stortkoppe, plafonne en susceptors
• Silikonkarbied, galliumnitried en aluminiumnitried (AlN) kristalgroeikomponente insluitend smeltkroeë, saadhouers, leiringe en filters
• Industriële komponente, insluitend weerstandsverhittingselemente, inspuitspuitpunte, maskeerringe en soldeermale
Toepassing kenmerke:
• Temperatuur stabiel bo 2000°C, wat werking by uiterste temperature moontlik maak
•Bestand teen waterstof (Hz), ammoniak (NH3), monosilaan (SiH4) en silikon (Si), wat beskerming bied in strawwe chemiese omgewings
• Sy termiese skokweerstand maak vinniger bedryfsiklusse moontlik
• Grafiet het sterk adhesie, wat 'n lang dienslewe verseker en geen delaminering van deklaag nie.
• Ultrahoë suiwerheid om onnodige onsuiwerhede of kontaminante uit te skakel
• Konforme deklaagbedekking tot streng dimensionele toleransies
Tegniese spesifikasies:
Voorbereiding van digte tantaalkarbiedbedekkings deur CVD:
TAC-bedekking met hoë kristalliniteit en uitstekende eenvormigheid:
CVD TAC COATING Tegniese Parameters_Semicera:
Bogenoemde is tipiese waardes.
