TaC-bedekte grafietgeleidingsringeverwys na die afsetting van 'n dun laag vantantaalkarbiedop die oppervlak van 'n grafietgeleidering om sy slytasieweerstand, hoë temperatuurweerstand en chemiese stabiliteit te verbeter. Hierdie laag word gewoonlik op die oppervlak van 'n grafietgeleidering gevorm deur tegnieke soos fisiese dampneerslag (PVD) of chemiese dampneerslag (CVD).
Semicera verskaf gespesialiseerde tantaalkarbied (TaC) bedekkings vir verskeie komponente en draers.Semicera toonaangewende deklaagproses stel tantaalkarbied (TaC)-bedekkings in staat om hoë suiwerheid, hoë temperatuurstabiliteit en hoë chemiese verdraagsaamheid te bereik, wat die kwaliteit van die produk van SIC/GAN-kristalle en EPI-lae verbeter (Grafietbedekte TaC-susceptor), en die lewensduur van sleutelreaktorkomponente verleng. Die gebruik van tantaalkarbied-TAC-bedekking is om die randprobleem op te los en die kwaliteit van kristalgroei te verbeter, en Semicera het deurbraak die tantaalkarbiedbedekkingstegnologie (CVD) opgelos en die internasionale gevorderde vlak bereik.
Na jare se ontwikkeling het Semicera die tegnologie van verowerCVD TaCmet die gesamentlike pogings van die R&D-afdeling. Defekte is maklik om te voorkom in die groeiproses van SiC-wafers, maar na gebruikTaC, die verskil is beduidend. Hieronder is 'n vergelyking van wafers met en sonder TaC, sowel as Simicera se dele vir enkelkristalgroei.
Die hoofkenmerke van TaC-bedekte grafietgeleideringe sluit in:
1. Hoë temperatuur weerstand: TaC coating het uitstekende hoë temperatuur stabiliteit en kan stabiliteit in hoë temperatuur omgewings handhaaf.
2. Slytasieweerstand: Die hoë hardheid van die tantaalkarbied dun laag gee die leiring goeie slytweerstand en verleng sy lewensduur.
3. Chemiese stabiliteit: TaC-bedekking het hoë stabiliteit teen chemiese korrosie, wat dit geskik maak vir toepassings in sommige korrosiewe media.
4. Verminder wrywing: TaC-bedekking kan die wrywing tussen die grafietgeleidering en ander komponente effektief verminder en die doeltreffendheid van meganiese seëls verbeter.
met en sonder TAC
Na gebruik van TaC (regs)
Verder, Semicera'sTaC-bedekte produktetoon 'n langer dienslewe en groter hoë-temperatuur weerstand in vergelyking metSiC-bedekkings.Laboratoriummetings het getoon dat onsTaC-bedekkingskan konsekwent presteer by temperature tot 2300 grade Celsius vir lang tydperke. Hieronder is 'n paar voorbeelde van ons voorbeelde:
