SiC-bedekte epitaksiale reaktorvat

Kort beskrywing:

Semicera bied 'n omvattende reeks susceptors en grafietkomponente wat ontwerp is vir verskeie epitaksereaktore.

Deur strategiese vennootskappe met toonaangewende OEM's, uitgebreide materiaalkundigheid en gevorderde vervaardigingsvermoëns, lewer Semicera pasgemaakte ontwerpe om aan die spesifieke vereistes van jou toepassing te voldoen.Ons verbintenis tot uitnemendheid verseker dat u optimale oplossings vir u epitaksereaktorbehoeftes ontvang.

 

Produkbesonderhede

Produk Tags

Beskrywing

Ons maatskappy verskafSiC-bedekkingverwerk dienste op die oppervlak van grafiet, keramiek en ander materiale volgens CVD-metode, sodat spesiale gasse wat koolstof en silikon bevat by hoë temperatuur kan reageer om hoë-suiwer Sic-molekules te verkry, wat op die oppervlak van bedekte materiale neergelê kan word om 'nSiC beskermende laagvir epitaksie vat tipe hy pnotiese.

 

siek (1)

siek (2)

Belangrikste kenmerke

1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand:
die oksidasieweerstand is steeds baie goed wanneer die temperatuur so hoog as 1600 C is.
2. Hoë suiwerheid: gemaak deur chemiese dampneerlegging onder hoë temperatuur chloreringstoestand.
3. Erosiebestandheid: hoë hardheid, kompakte oppervlak, fyn deeltjies.
4. Korrosiebestandheid: suur, alkali, sout en organiese reagense.

Hoofspesifikasies van CVD-SIC Coating

SiC-CVD-eienskappe
Kristal struktuur FCC β fase
Digtheid g/cm³ 3.21
Hardheid Vickers hardheid 2500
Graan grootte μm 2~10
Chemiese suiwerheid % 99,99995
Hitte kapasiteit J·kg-1 ·K-1 640
Sublimasie temperatuur 2700
Feleksurale sterkte MPa (RT 4-punt) 415
Young se modulus Gpa (4pt-buiging, 1300℃) 430
Termiese uitbreiding (CTE) 10-6K-1 4.5
Termiese geleidingsvermoë (W/mK) 300
Semicera Werkplek
Semicera werkplek 2
Toerusting masjien
CNN-verwerking, chemiese skoonmaak, CVD-bedekking
Ons diens

  • Vorige:
  • Volgende: