SiC-deklaagdraers vir halfgeleier-ets

Kort beskrywing:

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. is 'n toonaangewende verskaffer van gevorderde halfgeleierkeramiek. Ons vernaamste produkte sluit in: Silikonkarbied geëtste skywe, silikonkarbied-bootsleepwaens, silikonkarbiedwaferskepe (PV & Halfgeleier), silikonkarbied-oondbuise, silikonkarbied-uitkragspane, silikonkarbiedboorhouer, silikonkarbied-balke, sowel as CVD SiC-bedekkings TaC-bedekkings.

Die produkte word hoofsaaklik gebruik in die halfgeleier- en fotovoltaïese industrieë, soos kristalgroei, epitaksie, ets, verpakking, coating en diffusie-oondtoerusting.

 

 


Produkbesonderhede

Produk Tags

Beskrywing

Ons maatskappy bied SiC-bedekkingsprosesdienste volgens CVD-metode op die oppervlak van grafiet, keramiek en ander materiale, sodat spesiale gasse wat koolstof en silikon bevat teen hoë temperatuur reageer om hoë suiwer SiC-molekules te verkry, molekules wat op die oppervlak van die bedekte materiale neergelê word, die vorming van SIC beskermende laag.

Belangrikste kenmerke

1. Hoë temperatuur oksidasie weerstand:
die oksidasieweerstand is steeds baie goed wanneer die temperatuur so hoog as 1600 C is.
2. Hoë suiwerheid: gemaak deur chemiese dampneerlegging onder hoë temperatuur chloreringstoestand.
3. Erosiebestandheid: hoë hardheid, kompakte oppervlak, fyn deeltjies.
4. Korrosiebestandheid: suur, alkali, sout en organiese reagense.

Hoofspesifikasies van CVD-SIC Coating

SiC-CVD-eienskappe

Kristal struktuur FCC β fase
Digtheid g/cm³ 3.21
Hardheid Vickers hardheid 2500
Korrelgrootte μm 2~10
Chemiese suiwerheid % 99,99995
Hitte kapasiteit J·kg-1 ·K-1 640
Sublimasie temperatuur 2700
Feleksurale sterkte MPa (RT 4-punt) 415
Young se modulus Gpa (4pt-buiging, 1300℃) 430
Termiese uitbreiding (CTE) 10-6K-1 4.5
Termiese geleidingsvermoë (W/mK) 300
Semicera Werkplek
Semicera werkplek 2
Toerusting masjien
CNN-verwerking, chemiese skoonmaak, CVD-bedekking
Ons diens

  • Vorige:
  • Volgende: