Wafer hantering armis 'n sleuteltoerusting wat in die halfgeleiervervaardigingsproses gebruik word om te hanteer, oor te dra en te posisioneerwafers. Dit bestaan gewoonlik uit 'n robotarm, 'n gryper en 'n beheerstelsel, met presiese bewegings- en posisioneringsvermoëns.Wafer hantering armsword wyd gebruik in verskeie skakels in halfgeleiervervaardiging, insluitend prosesstappe soos wafellaai, skoonmaak, dunfilmafsetting, ets, litografie en inspeksie. Die akkuraatheid, betroubaarheid en outomatiseringsvermoë daarvan is noodsaaklik om die kwaliteit, doeltreffendheid en konsekwentheid van die produksieproses te verseker.
Die hooffunksies van die wafelhanteringsarm sluit in:
1. Wafer-oordrag: Die wafer-hanteringsarm is in staat om wafers akkuraat van een plek na 'n ander oor te dra, soos om wafers uit 'n stoorrak te neem en dit in 'n verwerkingstoestel te plaas.
2. Posisionering en oriëntasie: Die wafelhanteringsarm is in staat om die wafer akkuraat te posisioneer en oriënteer om korrekte belyning en posisie te verseker vir daaropvolgende verwerking of metingsoperasies.
3. Klem en los: Wafelhanteringsarms is gewoonlik toegerus met grypers wat wafers veilig kan vasklem en los wanneer nodig om veilige oordrag en hantering van wafers te verseker.
4. Outomatiese beheer: Die wafelhanteringsarm is toegerus met 'n gevorderde beheerstelsel wat outomaties voorafbepaalde aksiereekse kan uitvoer, produksiedoeltreffendheid kan verbeter en menslike foute kan verminder.
Eienskappe en voordele
1.Presiese afmetings en termiese stabiliteit.
2.High spesifieke styfheid en uitstekende termiese eenvormigheid, langtermyn gebruik is nie maklik om vervorming te buig nie.
3.Dit het 'n gladde oppervlak en goeie slytasieweerstand, en hanteer dus die skyfie veilig sonder deeltjiebesoedeling.
4. Silikonkarbied weerstand in 106-108Ω, nie-magneties, in lyn met anti-ESD spesifikasie vereistes; Dit kan die ophoping van statiese elektrisiteit op die oppervlak van die skyfie voorkom.
5.Goeie termiese geleidingsvermoë, lae uitsettingskoëffisiënt.
