Tantaalkarbied-bedekte grafietplaatis 'n grafiet materiaal met 'n dun laag vantantaalkarbiedop die oppervlak van die substraat. Die dun laag tantaalkarbied word gewoonlik op die oppervlak van die grafietsubstraat gevorm deur tegnieke soos fisiese dampneerslag (PVD) of chemiese dampneerslag (CVD). Hierdie deklaag het uitstekende eienskappe soos hoë hardheid, uitstekende slytasieweerstand, korrosiebestandheid en hoë temperatuurstabiliteit.
Semicera verskaf gespesialiseerde tantaalkarbied (TaC) bedekkings vir verskeie komponente en draers.Semicera toonaangewende deklaagproses stel tantaalkarbied (TaC)-bedekkings in staat om hoë suiwerheid, hoë temperatuurstabiliteit en hoë chemiese verdraagsaamheid te bereik, wat die kwaliteit van die produk van SIC/GAN-kristalle en EPI-lae verbeter (Grafietbedekte TaC-susceptor), en die lewensduur van sleutelreaktorkomponente verleng. Die gebruik van tantaalkarbied-TAC-bedekking is om die randprobleem op te los en die kwaliteit van kristalgroei te verbeter, en Semicera het deurbraak die tantaalkarbiedbedekkingstegnologie (CVD) opgelos en die internasionale gevorderde vlak bereik.
Na jare se ontwikkeling het Semicera die tegnologie van verowerCVD TaCmet die gesamentlike pogings van die R&D-afdeling. Defekte is maklik om te voorkom in die groeiproses van SiC-wafers, maar na gebruikTaC, die verskil is beduidend. Hieronder is 'n vergelyking van wafers met en sonder TaC, sowel as Simicera se dele vir enkelkristalgroei.
Die belangrikste voordele van tantaalkarbied-bedekte grafietplaat sluit in:
1. Hoë temperatuur weerstand: Tantaalkarbied het 'n hoë smeltpunt en uitstekende hoë temperatuur stabiliteit, wat die bedekte grafietplaat geskik maak vir gebruik in hoë temperatuur omgewings.
2. Korrosiebestandheid: Tantaalkarbiedbedekking kan die erosie van baie chemiese korrosiewe stowwe weerstaan en die lewensduur van die materiaal verleng.
3. Hoë hardheid: Die hoë hardheid van die tantaalkarbied dun laag bied goeie slytasieweerstand en is geskik vir toepassings wat hoë slytweerstand vereis.
4. Chemiese stabiliteit: Tantaalkarbiedbedekking het uitstekende stabiliteit teen chemiese korrosie en is geskik vir gebruik in sommige korrosiewe media.
met en sonder TAC
Na gebruik van TaC (regs)
Verder, Semicera'sTaC-bedekte produktetoon 'n langer dienslewe en groter hoë-temperatuur weerstand in vergelyking metSiC-bedekkings.Laboratoriummetings het getoon dat onsTaC-bedekkingskan konsekwent presteer by temperature tot 2300 grade Celsius vir lang tydperke. Hieronder is 'n paar voorbeelde van ons voorbeelde:
