TaC Coated Plate is 'n gespesialiseerde skyf wat ontwerp is vir gebruik in SiC epitaksiale prosesse, vervaardig met presisie van hoë kwaliteit grafiet materiaal. Sy oppervlak is noukeurig bedek met tantaalkarbied (TaC), 'n verbinding wat bekend is vir sy besonderse suiwerheid en sterkte. Die TaC-bedekking verhoog die plaat se duursaamheid en weerstand teen hoë temperature, wat dit ideaal maak vir die veeleisende toestande van SiC-epitaksiale prosesse.
Hierdie innoverende TaC-bedekte plaat is 'n gespesialiseerde skyf wat ontwerp is vir gebruik in SiC-epitaksiale prosesse, vervaardig met presisie van hoë kwaliteit grafietmateriaal. TaC-bedekte plaatoppervlak is noukeurig bedek met tantaalkarbied (TaC), 'n verbinding wat bekend is vir sy besonderse suiwerheid en sterkte. dien as 'n betroubare platform vir die dra van wafers tydens verskeie stadiums van SiC epitaksiale groei. Die hoë-suiwer grafietbasis bied 'n stabiele en inerte oppervlak, terwyl die TaC-bedekking 'n ekstra laag beskerming teen chemiese reaksies en slytasie byvoeg.
SemiceraTaC Coated Plate word aangepas volgens die spesifieke vereistes van die kliënte, wat optimale werkverrigting en verenigbaarheid met hul SiC-epitaksiale stelsels verseker. Of dit nou grootte, vorm of ander spesifikasies is, hierdie plate is aangepas om aan die unieke behoeftes van elke toepassing te voldoen.
met en sonder TAC
Na gebruik van TaC (regs)
Verder, Semicera'sTaC-bedekte produktetoon 'n langer dienslewe en groter hoë-temperatuur weerstand in vergelyking metSiC-bedekkings.Laboratoriummetings het getoon dat onsTaC-bedekkingskan konsekwent presteer by temperature tot 2300 grade Celsius vir lang tydperke. Hieronder is 'n paar voorbeelde van ons voorbeelde: