TaC-bedekkingis 'n belangrike materiaalbedekking, wat gewoonlik op 'n grafietbasis voorberei word deur metaal-organiese chemiese dampneerslag (MOCVD) tegnologie. Hierdie deklaag het uitstekende eienskappe, soos hoë hardheid, uitstekende slytasieweerstand, hoë temperatuurweerstand en chemiese stabiliteit, en is geskik vir verskeie hoë aanvraag ingenieurstoepassings.
MOCVD-tegnologie is 'n algemeen gebruikte dunfilmgroeitegnologie wat die verlangde saamgestelde film op die substraatoppervlak deponeer deur metaalorganiese voorlopers met reaktiewe gasse by hoë temperature te laat reageer. Wanneer jy voorbereiTaC-bedekking, deur geskikte metaal-organiese voorlopers en koolstofbronne te kies, reaksietoestande en afsettingsparameters te beheer, kan 'n eenvormige en digte TaC-film op 'n grafietbasis neergelê word.
Semicera verskaf gespesialiseerde tantaalkarbied (TaC) bedekkings vir verskeie komponente en draers.Semicera toonaangewende deklaagproses stel tantaalkarbied (TaC)-bedekkings in staat om hoë suiwerheid, hoë temperatuurstabiliteit en hoë chemiese verdraagsaamheid te bereik, wat die kwaliteit van die produk van SIC/GAN-kristalle en EPI-lae verbeter (Grafietbedekte TaC-susceptor), en die lewensduur van sleutelreaktorkomponente verleng. Die gebruik van tantaalkarbied-TAC-bedekking is om die randprobleem op te los en die kwaliteit van kristalgroei te verbeter, en Semicera het deurbraak die tantaalkarbiedbedekkingstegnologie (CVD) opgelos en die internasionale gevorderde vlak bereik.
Na jare se ontwikkeling het Semicera die tegnologie van verowerCVD TaCmet die gesamentlike pogings van die R&D-afdeling. Defekte is maklik om te voorkom in die groeiproses van SiC-wafers, maar na gebruikTaC, die verskil is beduidend. Hieronder is 'n vergelyking van wafers met en sonder TaC, sowel as Simicera se dele vir enkelkristalgroei.
met en sonder TAC
Na gebruik van TaC (regs)
Verder, Semicera'sTaC-bedekte produktetoon 'n langer dienslewe en groter hoë-temperatuur weerstand in vergelyking metSiC-bedekkings.Laboratoriummetings het getoon dat onsTaC-bedekkingskan konsekwent presteer by temperature tot 2300 grade Celsius vir lang tydperke. Hieronder is 'n paar voorbeelde van ons voorbeelde:
