TaC-bedekte epitaksiale wafeldraersword gewoonlik gebruik in die voorbereiding van hoëprestasie-opto-elektroniese toestelle, kragtoestelle, sensors en ander velde. Hierdieepitaksiale wafer draerverwys na die afsetting vanTaCdun film op die substraat tydens die kristalgroeiproses om 'n wafel met spesifieke struktuur en werkverrigting te vorm vir daaropvolgende toestelvoorbereiding.
Chemiese dampneerslag (CVD) tegnologie word gewoonlik gebruik om voor te bereiTaC-bedekte epitaksiale wafeldraers. Deur metaal-organiese voorlopers en koolstofbrongasse teen hoë temperatuur te laat reageer, kan 'n TaC-film op die oppervlak van die kristalsubstraat neergelê word. Hierdie film kan uitstekende elektriese, optiese en meganiese eienskappe hê en is geskik vir die voorbereiding van verskeie hoëprestasie-toestelle.
Semicera verskaf gespesialiseerde tantaalkarbied (TaC) bedekkings vir verskeie komponente en draers.Semicera toonaangewende deklaagproses stel tantaalkarbied (TaC)-bedekkings in staat om hoë suiwerheid, hoë temperatuurstabiliteit en hoë chemiese verdraagsaamheid te bereik, wat die kwaliteit van die produk van SIC/GAN-kristalle en EPI-lae verbeter (Grafietbedekte TaC-susceptor), en die lewensduur van sleutelreaktorkomponente verleng. Die gebruik van tantaalkarbied-TAC-bedekking is om die randprobleem op te los en die kwaliteit van kristalgroei te verbeter, en Semicera het deurbraak die tantaalkarbiedbedekkingstegnologie (CVD) opgelos en die internasionale gevorderde vlak bereik.
Na jare se ontwikkeling het Semicera die tegnologie van verowerCVD TaCmet die gesamentlike pogings van die R&D-afdeling. Defekte is maklik om te voorkom in die groeiproses van SiC-wafers, maar na gebruikTaC, die verskil is beduidend. Hieronder is 'n vergelyking van wafers met en sonder TaC, sowel as Simicera se dele vir enkelkristalgroei.
met en sonder TAC
Na gebruik van TaC (regs)
Verder, Semicera'sTaC-bedekte produktetoon 'n langer dienslewe en groter hoë-temperatuur weerstand in vergelyking metSiC-bedekkings.Laboratoriummetings het getoon dat onsTaC-bedekkingskan konsekwent presteer by temperature tot 2300 grade Celsius vir lang tydperke. Hieronder is 'n paar voorbeelde van ons voorbeelde:
