Produk Oorsig
DieSilikon-geïmpregneerde silikonkarbied (SiC) roei- en wafeldraeris ontwerp om aan die veeleisende vereistes van halfgeleier termiese verwerkingstoepassings te voldoen. Gemaak van hoë-suiwer SiC en verbeter deur silikon bevrugting, bied hierdie produk 'n unieke kombinasie van hoë-temperatuur werkverrigting, uitstekende termiese geleidingsvermoë, weerstand teen korrosie, en uitstaande meganiese sterkte.
Deur gevorderde materiaalwetenskap met presisievervaardiging te integreer, verseker hierdie oplossing uitstekende werkverrigting, betroubaarheid en duursaamheid vir halfgeleiervervaardigers.
Sleutel kenmerke
1.Uitsonderlike hoë-temperatuur weerstand
Met 'n smeltpunt wat 2700°C oorskry, is SiC-materiale inherent stabiel onder uiterste hitte. Silikon bevrugting verbeter hul termiese stabiliteit verder, wat hulle toelaat om langdurige blootstelling aan hoë temperature te weerstaan sonder strukturele verswakking of prestasie agteruitgang.
2.Uitstekende termiese geleidingsvermoë
Die uitsonderlike termiese geleidingsvermoë van silikon-geïmpregneerde SiC verseker eenvormige hitteverspreiding, wat termiese spanning tydens kritieke verwerkingstadia verminder. Hierdie eienskap verleng toerusting se leeftyd en verminder produksiestilstand, wat dit ideaal maak vir hoë-temperatuur termiese verwerking.
3.Oksidasie- en korrosieweerstand
’n Robuuste silikonoksiedlaag vorm natuurlik op die oppervlak, wat uitstekende weerstand teen oksidasie en korrosie bied. Dit verseker langtermyn betroubaarheid in moeilike bedryfsomgewings, wat beide die materiaal en omliggende komponente beskerm.
4.Hoë meganiese sterkte en slytasieweerstand
Silikon-geïmpregneerde SiC beskik oor uitstekende druksterkte en slytasieweerstand, wat sy strukturele integriteit onder hoë las, hoë temperatuur toestande behou. Dit verminder die risiko van slytasieverwante skade, wat konsekwente werkverrigting oor lang gebruiksiklusse verseker.
Spesifikasies
| Produk Naam | SC-RSiC-Si |
| Materiaal | Silicon Impregnation Silicon Carbide Compact (hoë suiwerheid) |
| Aansoeke | Halfgeleier hittebehandelingsonderdele, halfgeleiervervaardigingstoerustingonderdele |
| Afleweringsvorm | Gevormde liggaam (gesinterde liggaam) |
| Samestelling | Meganiese eiendom | Young se modulus (GPa) | Buig sterkte (MPa) | ||
| Samestelling (vol%) | α-SiC | α-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800°C | 360 | 220 | |
| Grootmaatdigtheid (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200°C | 340 | 220 | |
| Hittebestande temperatuur °C | 1350 | Poisson se verhouding | 0,18(RT) | ||
| Termiese eiendom | Termiese geleidingsvermoë (W/(m· K)) | Spesifieke hittekapasiteit (kJ/(kg·K)) | Koëffisiënt van termiese uitbreiding (1/K) | ||
| RT | 220 | 0.7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700°C | 60 | 1.23 | 700~1200°C | 4,3 x10-6 | |
| Onsuiwerheidsinhoud ((dpm) | |||||||||||||
| Element | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Inhoud koers | 3 | <2 | <0,5 | <0.1 | <1 | 5 | 0.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Aansoeke
▪Halfgeleier termiese verwerking:Ideaal vir prosesse soos chemiese dampneerslag (CVD), epitaksiale groei en uitgloeiing, waar presiese temperatuurbeheer en materiaalduursaamheid van kritieke belang is.
▪Wafeldraers en spane:Ontwerp om wafers veilig te hou en te vervoer tydens hoë-temperatuur termiese behandelings.
▪Uiterste bedryfsomgewings: Geskik vir instellings wat weerstand teen hitte, chemiese blootstelling en meganiese spanning vereis.
Voordele van silikon-geïmpregneerde SiC
Die kombinasie van hoë-suiwer silikonkarbied en gevorderde silikon bevrugting tegnologie lewer ongeëwenaarde prestasie voordele:
▪Presisie:Verbeter die akkuraatheid en beheer van halfgeleierverwerking.
▪Stabiliteit:Weerstaan strawwe omgewings sonder om funksionaliteit in te boet.
▪Langlewendheid:Verleng die lewensduur van halfgeleiervervaardigingstoerusting.
▪Doeltreffendheid:Verbeter produktiwiteit deur betroubare en konsekwente resultate te verseker.
Waarom ons silikon-geïmpregneerde SiC-oplossings kies?
At Semicera, ons spesialiseer in die verskaffing van hoëprestasie-oplossings wat aangepas is vir die behoeftes van halfgeleiervervaardigers. Ons silikon-geïmpregneerde silikonkarbiedroei- en wafeldraer ondergaan streng toetsing en gehalteversekering om aan industriestandaarde te voldoen. Deur Semicera te kies, kry jy toegang tot die nuutste materiale wat ontwerp is om jou vervaardigingsprosesse te optimaliseer en jou produksievermoëns te verbeter.
Tegniese spesifikasies
▪Materiaal samestelling:Hoë-suiwer silikonkarbied met silikon bevrugting.
▪Bedryfstemperatuurreeks:Tot 2700°C.
▪ Termiese geleidingsvermoë:Uitsonderlik hoog vir eenvormige hitteverspreiding.
▪Weerstand eienskappe:Oksidasie, korrosie en slytasiebestand.
▪Aansoeke:Versoenbaar met verskeie halfgeleier termiese verwerkingstelsels.
Kontak ons
Gereed om jou halfgeleiervervaardigingsproses te verhef? KontakSemiceravandag om meer te wete te kom oor ons silikon-geïmpregneerde silikonkarbiedroei- en wafeldraer.
▪E-pos: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefoon: +86-0574-8650 3783
▪Ligging:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang Provinsie, 315201, China
