Die SemiceraSiC Cantilever Wafer Paddleis ontwerp om aan die vereistes van moderne halfgeleiervervaardiging te voldoen. Hierdiewafelroeibied uitstekende meganiese sterkte en termiese weerstand, wat krities is vir die hantering van wafels in hoë-temperatuur omgewings.
Die SiC cantilever-ontwerp maak presiese wafelplasing moontlik, wat die risiko van skade tydens hantering verminder. Sy hoë termiese geleidingsvermoë verseker dat die wafel selfs onder uiterste toestande stabiel bly, wat van kritieke belang is vir die handhawing van produksiedoeltreffendheid.
Benewens sy strukturele voordele, Semicera'sSiC Cantilever Wafer Paddlebied ook voordele in gewig en duursaamheid. Die liggewig konstruksie maak dit makliker om te hanteer en in bestaande stelsels te integreer, terwyl die hoëdigtheid SiC-materiaal langdurige duursaamheid onder veeleisende toestande verseker.
| Fisiese eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied | |
| Eiendom | Tipiese waarde |
| Werkstemperatuur (°C) | 1600°C (met suurstof), 1700°C (verminderende omgewing) |
| SiC inhoud | > 99,96% |
| Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
| Grootmaat digtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Skynbare porositeit | < 16% |
| Kompressie sterkte | > 600 MPa |
| Koue buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
| Warm buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termiese uitsetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Termiese geleidingsvermoë @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastiese modulus | 240 GPa |
| Termiese skok weerstand | Uiters goed |
