Die Solid SiC Focus Ring van Semicera is 'n toonaangewende komponent wat ontwerp is om aan die vereistes van gevorderde halfgeleiervervaardiging te voldoen. Gemaak van hoë suiwerheidSilikonkarbied (SiC), is hierdie fokusring ideaal vir 'n wye reeks toepassings in die halfgeleierbedryf, veral inCVD SiC-prosesse, plasma-ets, enICPRIE (Induktief Gekoppelde Plasma Reaktiewe Ioon Etsing). Bekend vir sy uitsonderlike slytasieweerstand, hoë termiese stabiliteit en suiwerheid, verseker dit langdurige werkverrigting in hoë stres omgewings.
In halfgeleierwaferverwerking, Solid SiC Focus Rings is van kardinale belang in die handhawing van presiese ets tydens droë ets en wafer-etstoepassings. Die SiC-fokusring help om die plasma te fokus tydens prosesse soos plasma-etsmasjienbewerkings, wat dit onontbeerlik maak vir ets van silikonwafels. Die soliede SiC-materiaal bied ongeëwenaarde weerstand teen erosie, verseker die lang lewe van jou toerusting en minimaliseer stilstand, wat noodsaaklik is vir die handhawing van hoë deurset in halfgeleiervervaardiging.
Die Solid SiC Focus Ring van Semicera is ontwerp om uiterste temperature en aggressiewe chemikalieë wat algemeen in die halfgeleierbedryf voorkom, te weerstaan. Dit is spesifiek gemaak vir gebruik in hoë-presisie take soosCVD SiC-bedekkings, waar suiwerheid en duursaamheid voorop staan. Met uitstekende weerstand teen termiese skok, verseker hierdie produk konsekwente en stabiele werkverrigting onder die moeilikste toestande, insluitend blootstelling aan hoë temperature tydenswaferetsprosesse.
In halfgeleiertoepassings, waar akkuraatheid en betroubaarheid die sleutel is, speel die Solid SiC Focus Ring 'n deurslaggewende rol in die verbetering van die algehele doeltreffendheid van etsprosesse. Sy robuuste, hoëprestasie-ontwerp maak dit die perfekte keuse vir nywerhede wat hoë-suiwer komponente benodig wat onder uiterste toestande presteer. Of dit gebruik word inCVD SiC ringtoepassings of as deel van die plasma-etsproses, Semicera se Solid SiC Focus Ring help om jou toerusting se werkverrigting te optimaliseer, en bied die lang lewe en betroubaarheid wat jou produksieprosesse vereis.
Sleutel kenmerke:
• Uitstekende slytasieweerstand en hoë termiese stabiliteit
• Hoë-suiwer Soliede SiC-materiaal vir verlengde lewensduur
• Ideaal vir plasma-ets-, ICP RIE- en droë-etstoepassings
• Perfek vir wafer-ets, veral in CVD SiC-prosesse
• Betroubare werkverrigting in uiterste omgewings en hoë temperature
• Verseker presisie en doeltreffendheid in ets van silikonwafels
Aansoeke:
• CVD SiC-prosesse in halfgeleiervervaardiging
• Plasma-ets en ICP RIE-stelsels
• Droë-ets en wafer-etsprosesse
• Ets en afsetting in plasma-etsmasjiene
• Presisiekomponente vir waferringe en CVD SiC-ringe
Mikroskopiese morfologie van CVD SiC oppervlak
Mikroskopiese morfologie van CVD SiC-deursnit
