Beskrywing
MOCVD-substraatverwarmer, verwarmingselemente vir MOCVD
Grafiet verwarmer:
Die grafiet verwarmer komponente word gebruik in die hoë temperatuur oond met temperatuur bereik 2200 grade by vakuum omgewing en 3000 grade in die gedeoksideerde en ingevoeg gas omgewing.
Belangrikste kenmerke van grafietverwarmer
1. eenvormigheid van verhittingstruktuur.
2. goeie elektriese geleidingsvermoë en hoë elektriese las.
3. weerstand teen korrosie.
4. onoksideerbaarheid.
5. hoë chemiese suiwerheid.
6. hoë meganiese sterkte.
Die voordeel is energiedoeltreffend, hoë waarde en min onderhoud.
Ons kan anti-oksidasie en lang lewe span grafiet smeltkroes, grafiet vorm en alle dele van grafiet verwarmer produseer.
Chemiese grafiet
Voordeel: Hoë temperatuur weerstand
Toepassing: MOCVD/vakuumoond/warm sone
Grootmaatdigtheid: 1,68-1,91 g/cm3
Buigsterkte: 30-46Mpa
Weerstand:7-12μΩm
Belangrikste parameters van grafiet verwarmer
| Tegniese spesifikasie | VET-M3 |
| Grootmaatdigtheid (g/cm3) | ≥1,85 |
| Asinhoud (PPM) | ≤500 |
| Shore Hardheid | ≥45 |
| Spesifieke weerstand (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Buigkrag (Mpa) | ≥40 |
| Druksterkte (Mpa) | ≥70 |
| Maks. Korrelgrootte (μm) | ≤43 |
| Koëffisiënt van termiese uitsetting Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafiet verwarmer vir elektriese oond het eienskappe van hitte weerstand, oksidasie weerstand, goeie elektriese geleidingsvermoë en beter meganiese intensiteit. Ons kan verskillende soorte grafietverwarmers bewerk volgens kliënte se ontwerpe.
Maatskappy profiel
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. is 'n toonaangewende verskaffer van gevorderde halfgeleierkeramiek en die enigste vervaardiger in China wat gelyktydig hoë-suiwer silikonkarbiedkeramiek (veral die Herkristalliseerde SiC) en CVD SiC-bedekking kan verskaf. Daarbenewens is ons maatskappy ook verbind tot keramiekvelde soos alumina, aluminiumnitried, sirkoniumoxide en silikonnitried, ens.
Ons vernaamste produkte sluit in: silikonkarbied-etsskyf, silikonkarbied-bootsleep, silikonkarbiedwafelboot (fotovoltaïese en halfgeleier), silikonkarbied-oondbuis, silikonkarbied-uitkragspan, silikonkarbied-houers, silikonkarbied-balk, die Ta CVD SiC-bedekking, sowel as deklaag. Die produkte wat hoofsaaklik in die halfgeleier- en fotovoltaïese nywerhede gebruik word, soos toerusting vir kristalgroei, epitaksie, ets, verpakking, deklaag- en diffusie-oonde, ens.
Ons maatskappy het die volledige produksietoerusting soos giet, sintering, verwerking, deklaagtoerusting, ens., wat al die nodige skakels van produkproduksie kan voltooi en 'n hoër beheerbaarheid van produkkwaliteit het; Die optimale produksieplan kan gekies word volgens die behoeftes van die produk, wat laer koste tot gevolg het en kliënte van meer mededingende produkte voorsien; Ons kan produksie buigsaam en doeltreffend skeduleer op grond van bestellingsleweringsvereistes en in samewerking met aanlyn bestellingbestuurstelsels, wat kliënte vinniger en meer gewaarborgde afleweringstyd bied.
