Semicerastel die bekendHalfgeleier-kasset, 'n noodsaaklike hulpmiddel vir die veilige en doeltreffende hantering van wafers regdeur die halfgeleiervervaardigingsproses. Hierdie kasset is met hoë presisie ontwerp en verseker dat jou wafers veilig gestoor en vervoer word, en hul integriteit in elke stadium behou.
Uitstekende beskerming en duursaamheidDieHalfgeleier-kassetvan Semicera is gebou om maksimum beskerming aan jou wafers te bied. Gemaak van robuuste, kontaminasiebestande materiale, beskerm dit jou wafels teen potensiële skade en besoedeling, wat dit 'n ideale keuse maak vir skoonkameromgewings. Die ontwerp van die kasset verminder deeltjies generasie en verseker dat wafers onaangeraak en veilig bly tydens hantering en vervoer.
Verbeterde ontwerp vir optimale werkverrigtingDie van SemiceraHalfgeleier-kassetbeskik oor 'n noukeurig ontwerpte ontwerp wat presiese wafelbelyning verskaf, wat die risiko van wanbelyning en meganiese skade verminder. Die kasset se gleuwe is perfek gespasieer om elke wafer stewig vas te hou, wat enige beweging voorkom wat kan lei tot skrape of ander onvolmaakthede.
Veelsydigheid en verenigbaarheidDieHalfgeleier-kassetis veelsydig en versoenbaar met verskillende wafelgroottes, wat dit geskik maak vir verskillende stadiums van halfgeleiervervaardiging. Of jy nou met standaard- of pasgemaakte wafelafmetings werk, hierdie kasset pas by jou behoeftes aan en bied buigsaamheid in jou vervaardigingsprosesse.
Gestroomlynde hantering en doeltreffendheidOntwerp met die gebruiker in gedagte, dieSemicera Halfgeleier-kassetis liggewig en maklik om te hanteer, wat voorsiening maak vir vinnige en doeltreffende laai en aflaai. Hierdie ergonomiese ontwerp spaar nie net tyd nie, maar verminder ook die risiko van menslike foute en verseker gladde bedrywighede binne jou fasiliteit.
Voldoen aan industriestandaardeSemicera verseker dat dieHalfgeleier-kassetvoldoen aan die hoogste industriestandaarde vir kwaliteit en betroubaarheid. Elke kasset ondergaan streng toetsing om te verseker dat dit konsekwent werk onder die veeleisende toestande van halfgeleiervervaardiging. Hierdie toewyding aan kwaliteit verseker dat jou wafers altyd beskerm word, en handhaaf die hoë standaarde wat in die bedryf vereis word.
| Items | Produksie | Navorsing | Dummy |
| Kristal parameters | |||
| Politipe | 4H | ||
| Oppervlakoriëntasiefout | <11-20 >4±0.15° | ||
| Elektriese parameters | |||
| Dopant | n-tipe stikstof | ||
| Weerstand | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganiese parameters | |||
| Deursnee | 150,0±0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre plat oriëntasie | [1-100]±5° | ||
| Primêre plat lengte | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekondêre woonstel | Geen | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Buig | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Skering | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Voorkant (Si-face) grofheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuur | |||
| Mikropypdigtheid | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metaal onsuiwerhede | ≤5E10atome/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Voorste kwaliteit | |||
| Voorkant | Si | ||
| Oppervlakafwerking | Si-gesig CMP | ||
| Deeltjies | ≤60ea/wafer (grootte≥0.3μm) | NA | |
| Skrape | ≤5ea/mm. Kumulatiewe lengte ≤Diameter | Kumulatiewe lengte≤2*Deursnee | NA |
| Lemoenskil/pitte/vlekke/strepe/ krake/besmetting | Geen | NA | |
| Randskyfies/inkepings/breuk/hex plate | Geen | ||
| Politipe areas | Geen | Kumulatiewe oppervlakte≤20% | Kumulatiewe oppervlakte≤30% |
| Voorste lasermerk | Geen | ||
| Terug kwaliteit | |||
| Agterafwerking | C-gesig CMP | ||
| Skrape | ≤5ea/mm, Kumulatiewe lengte≤2*Deursnee | NA | |
| Rugdefekte (randskyfies/inkepings) | Geen | ||
| Rugheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermerk op die rug | 1 mm (van die boonste rand) | ||
| Rand | |||
| Rand | Chamfer | ||
| Verpakking | |||
| Verpakking | Epi-gereed met vakuumverpakking Multi-wafer-kassetverpakking | ||
| *Nota: "NA" beteken geen versoek Items wat nie genoem word nie, kan verwys na SEMI-STD. | |||
