Rol verwys na die proses om die buitenste deursnee van 'n silikon-enkelkristalstaaf in 'n enkelkristalstaaf van die vereiste deursnee te slyp deur 'n diamantslypwiel te gebruik, en 'n plat rand verwysingsoppervlak of posisioneringsgroef van die enkelkristalstaaf uit te slyp.
Die buitenste deursnee oppervlak van die enkelkristalstaaf wat deur die enkelkristaloond voorberei is, is nie glad en plat nie, en sy deursnee is groter as die deursnee van die silikonwafel wat in die finale toediening gebruik word. Die vereiste staafdeursnee kan verkry word deur die buitenste deursnee te rol.
Die walswerk het die funksie om die platrandverwysingsoppervlak of posisioneringsgroef van die silikon-enkelkristalstaaf te slyp, dit wil sê om rigtingtoetsing op die enkelkristalstaaf met die vereiste deursnee uit te voer. Op dieselfde rolmeultoerusting word die platrandverwysingsoppervlak of posisioneringsgroef van die enkelkristalstaaf gemaal. Oor die algemeen gebruik enkelkristalstawe met 'n deursnee van minder as 200 mm platrandverwysingsoppervlaktes, en enkelkristalstawe met 'n deursnee van 200mm en hoër gebruik posisioneringsgroewe. Enkelkristalstawe met 'n deursnee van 200mm kan ook met plat rand verwysingsoppervlaktes gemaak word soos benodig. Die doel van die enkelkristalstaaf-oriëntasie-verwysingsoppervlak is om aan die behoeftes van outomatiese posisioneringsoperasie van prosestoerusting in geïntegreerde stroombaanvervaardiging te voldoen; om die kristaloriëntasie en geleidingstipe van die silikonwafer, ens., aan te dui om produksiebestuur te vergemaklik; die hoofposisioneringsrand of posisioneringsgroef is loodreg op die <110>-rigting. Tydens die skyfieverpakkingsproses kan die snyproses natuurlike splitsing van die wafer veroorsaak, en posisionering kan ook die generering van fragmente voorkom.
Die hoofdoelwitte van die afrondingsproses sluit in: Verbetering van oppervlakkwaliteit: Afronding kan brame en ongelykhede op die oppervlak van silikonskyfies verwyder en die oppervlak gladheid van silikonwafels verbeter, wat baie belangrik is vir daaropvolgende fotolitografie en etsprosesse. Verminder stres: Stres kan gegenereer word tydens die sny en verwerking van silikonwafels. Afronding kan help om hierdie spanning vry te stel en te voorkom dat die silikonskyfies in daaropvolgende prosesse breek. Verbetering van die meganiese sterkte van silikonwafels: Tydens die afrondingsproses sal die rande van die silikonwafels gladder word, wat help om die meganiese sterkte van die silikonwafels te verbeter en skade tydens vervoer en gebruik te verminder. Verseker dimensionele akkuraatheid: Deur afronding kan die dimensionele akkuraatheid van silikonwafels verseker word, wat van kardinale belang is vir die vervaardiging van halfgeleiertoestelle. Verbetering van die elektriese eienskappe van silikonwafels: Die randverwerking van silikonwafels het 'n belangrike invloed op hul elektriese eienskappe. Afronding kan die elektriese eienskappe van silikonwafels verbeter, soos die vermindering van lekstroom. Estetika: Die rande van silikonwafels is gladder en mooier na afronding, wat ook nodig is vir sekere toepassingscenario's.
Pos tyd: Jul-30-2024