Tantaalkarbied (TaC)is 'n binêre verbinding van tantaal en koolstof met die chemiese formule TaC x, waar x gewoonlik tussen 0,4 en 1 wissel. Hulle is uiters harde, bros, vuurvaste keramiekmateriale met metaalgeleidingsvermoë. Hulle is bruingrys poeiers en word gewoonlik deur sintering verwerk.
Tantaalkarbiedis 'n belangrike metaal keramiek materiaal. Een baie belangrike gebruik van tantaalkarbied is tantaalkarbiedbedekking.
Produkkenmerke van tantaalkarbiedbedekking
Hoë smeltpunt: Die smeltpunt vantantaalkarbiedis so hoog as3880°C, wat dit stabiel maak in hoë temperatuur omgewings en nie maklik om te smelt of af te breek nie.
Werkende toestand:Oor die algemeen is die normale werkstoestand van Tantaalkarbied (TaC) 2200°C. Met inagneming van sy uiters hoë smeltpunt, is TaC ontwerp om sulke hoë temperature te weerstaan sonder om sy strukturele integriteit te verloor.
Hardheid en slytasieweerstand: Dit het 'n uiters hoë hardheid (Mohs-hardheid is ongeveer 9-10) en kan slytasie en skrape effektief weerstaan.
Chemiese stabiliteit: Dit het goeie chemiese stabiliteit teen die meeste sure en alkalieë en kan korrosie en chemiese reaksies weerstaan.
Termiese geleidingsvermoë: Goeie termiese geleidingsvermoë stel dit in staat om hitte effektief te versprei en te gelei, wat die impak van hitte-akkumulasie op die materiaal verminder.
Toepassingsscenario's en voordele in die halfgeleierbedryf
MOCVD toerusting: In MOCVD (chemiese dampneerslag) toerusting,tantaalkarbiedbedekkingsword gebruik om die reaksiekamer en ander hoë-temperatuur komponente te beskerm, die erosie van die toerusting deur afsettings te verminder en die lewensduur van die toerusting te verleng.
Voordele: Verbeter die hoë-temperatuur weerstand van die toerusting, verminder onderhoud frekwensie en koste, en verbeter produksie doeltreffendheid.
Wafer verwerking: Gebruik in wafelverwerking en transmissiestelsels, tantaalkarbiedbedekkings kan die slytasieweerstand en korrosiebestandheid van die toerusting verbeter.
Voordele: Verminder produkkwaliteitprobleme wat veroorsaak word deur slytasie of korrosie, en verseker die stabiliteit en konsekwentheid van wafelverwerking.
Halfgeleier proses gereedskap: In halfgeleierprosesgereedskap, soos iooninplanteerders en etsers, kan tantaalkarbiedbedekkings die duursaamheid van gereedskap verbeter.
Voordele: Verleng die lewensduur van gereedskap, verminder stilstand en vervangingskoste, en verbeter produksiedoeltreffendheid.
Hoë temperatuur gebiede: In elektroniese komponente en toestelle in hoëtemperatuuromgewings word tantaalkarbiedbedekkings gebruik om materiale teen hoë temperature te beskerm.
Voordele: Verseker die stabiliteit en betroubaarheid van elektroniese komponente onder uiterste temperatuurtoestande.
Toekomstige ontwikkelingstendense
Materiële verbetering: Met die ontwikkeling van materiaal wetenskap, die formulering en afsetting tegnologie vantantaalkarbiedbedekkingssal voortgaan om te verbeter om sy prestasie te verbeter en koste te verminder. Byvoorbeeld, meer duursame en laekoste-bedekkingsmateriale kan ontwikkel word.
Afsettingstegnologie: Dit sal moontlik wees om meer doeltreffende en presiese afsettingstegnologieë te hê, soos verbeterde PVD- en CVD-tegnologieë, om die kwaliteit en werkverrigting van tantaalkarbiedbedekkings te optimaliseer.
Nuwe toepassingsgebiede: Die toepassingsareas vantantaalkarbiedbedekkingssal uitbrei na meer hoëtegnologie- en industriële velde, soos lugvaart-, energie- en motorindustrieë, om in die vraag na hoëprestasiemateriaal te voorsien.
Postyd: Aug-08-2024