DieMOCVDmetode is een van die mees stabiele prosesse wat tans in die bedryf gebruik word om hoë kwaliteit enkelkristallyne dun films te kweek, soos enkelfase InGaN epilae, III-N materiale en halfgeleierfilms met multi-kwantumputstrukture, en is van groot belang in die vervaardiging van halfgeleier- en opto-elektroniese toestelle.
DieSiC coating MOCVD susceptoris 'n gespesialiseerde wafelhouer bedek met silikonkarbied (SiC) virepitaksiaal groei in die metaal organiese chemiese dampneerslag (MOCVD) proses.
Die SiC-bedekking het uitstekende chemiese weerstand en termiese stabiliteit, wat dit 'n ideale keuse maak vir MOCVD-susceptors wat in veeleisende epitaksiale groeiprosesse gebruik word.
'n Sleutelkomponent van die MOCVD-proses is die susceptor, wat 'n sleutelelement is om die eenvormigheid en kwaliteit van die vervaardigde dun films te verseker.
Wat is 'n susceptor? Die susceptor is 'n gespesialiseerde komponent wat in die MOCVD-proses gebruik word om die substraat waarop die dun film neergelê is, te ondersteun en te verhit. Dit het verskeie funksies, insluitend om elektromagnetiese energie te absorbeer, dit in hitte om te skakel en die hitte eweredig op die substraat te versprei. Hierdie eenvormige verhitting is noodsaaklik vir die groei van eenvormige dun films met presiese dikte en samestelling.
Tipes susceptors:
1. Grafiet susceptors: Grafiet susceptors word dikwels bedek met 'n beskermende laag soos bv.silikonkarbied (SiC), wat bekend is vir sy hoë termiese geleidingsvermoë en stabiliteit. DieSiC-bedekkingbied 'n harde, beskermende oppervlak wat korrosie en agteruitgang by hoë temperature weerstaan.
2. Silikonkarbied (SiC) susceptors: Hierdie susceptors is geheel en al van SiC gemaak en het uitstekende termiese stabiliteit en slytasieweerstand. SiC-susceptors is veral geskik vir hoë-temperatuur prosesse en korrosiewe omgewings.
Hoe susceptors in MOCVD werk:
In die MOCVD-proses word voorlopers in die reaksiekamer ingebring waar hulle ontbind en reageer om 'n dun film op die substraat te vorm. Die susceptor speel 'n belangrike rol deur te verseker dat die substraat eweredig verhit word, wat van kritieke belang is om konsekwente film-eienskappe oor die hele substraatoppervlak te bereik. Die materiaal en ontwerp van die susceptor word noukeurig gekies om aan die spesifieke vereistes van die afsettingsproses, soos temperatuurreeks en chemiese verenigbaarheid, te voldoen.
Voordele van die gebruik van hoë kwaliteit susceptors:
• Verbeterde filmkwaliteit: Deur eenvormige hitteverspreiding te verskaf, help die susceptor om films met konsekwente dikte en samestelling te bereik, wat van kritieke belang is vir die werkverrigting van halfgeleiertoestelle.
• Verbeterde prosesdoeltreffendheid: Hoëgehalte-susceptors verhoog die algehele doeltreffendheid van die MOCVD-proses deur die waarskynlikheid van defekte te verminder en die opbrengs van bruikbare films te verhoog.
• Lewensduur en betroubaarheid: Suseptors gemaak van duursame materiale soos SiC verseker langtermyn betroubaarheid en verminder instandhoudingskoste.
Die susceptor is 'n integrale komponent in die MOCVD-proses en beïnvloed die kwaliteit en doeltreffendheid van dunfilmafsetting direk. Vir meer inligting oor beskikbare groottes, MOCVD-susceptors en pryse, moet asseblief nie huiwer om ons te kontak nie. Ons ingenieurs sal jou met graagte adviseer oor geskikte materiaal en al jou vrae beantwoord.
Foon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Postyd: Aug-12-2024