Silikonkarbiedwafelproduksieproses

Silikonkarbiedwafelis gemaak van hoë suiwer silikonpoeier en hoë suiwer koolstofpoeier as grondstowwe, en silikonkarbied kristal word gekweek deur die fisiese dampoordragmetode (PVT) en verwerk totsilikonkarbiedwafel.

① Grondstof sintese. Hoë suiwer silikonpoeier en hoë suiwer koolstofpoeier is volgens 'n sekere verhouding gemeng, en silikonkarbieddeeltjies is by hoë temperatuur bo 2,000 ℃ gesintetiseer. Na vergruising, skoonmaak en ander prosesse word die hoë suiwer silikonkarbied poeier grondstowwe voorberei wat aan die vereistes van kristalgroei voldoen.

② Kristalgroei. Deur gebruik te maak van hoë suiwer SIC poeier as grondstof, is die kristal gegroei deur fisiese dampoordrag (PVT) metode met behulp van self-ontwikkelde kristal groei oond.

③ staafverwerking. Die verkrygde silikonkarbied kristalblok is georiënteer deur X-straal enkelkristal oriënteerder, dan gemaal en gerol, en verwerk tot standaard deursnee silikonkarbied kristal.

④ Kristal sny. Met behulp van meerlyn-snytoerusting word silikonkarbiedkristalle in dun velle gesny met 'n dikte van nie meer as 1 mm nie.

⑤ Spaandermaal. Die wafel word tot die verlangde platheid en grofheid gemaal deur diamantslypvloeistowwe van verskillende deeltjiegroottes.

⑥ Chip polering. Die gepoleerde silikonkarbied sonder oppervlakskade is verkry deur meganiese polering en chemiese meganiese polering.

⑦ Chip opsporing. Gebruik optiese mikroskoop, X-straaldiffraktometer, atoomkragmikroskoop, nie-kontak weerstandstoetser, oppervlakvlakheidstoetser, oppervlakafwykings-omvattende toetser en ander instrumente en toerusting om die mikrotubulidigtheid, kristalkwaliteit, oppervlakruwheid, weerstand, kromming, kromming, op te spoor, dikteverandering, oppervlakkrap en ander parameters van silikonkarbiedwafer. Hiervolgens word die kwaliteitsvlak van die skyfie bepaal.

⑧ Chip skoonmaak. Die silikonkarbied-poleerblad word skoongemaak met skoonmaakmiddel en suiwer water om die oorblywende poleervloeistof en ander oppervlakvuil op die poleerblad te verwyder, en dan word die wafel geblaas en droog geskud deur 'n ultrahoë suiwer stikstof en droogmasjien; Die wafer word in 'n skoon vel boks in 'n superskoon kamer ingekapsuleer om 'n stroomaf gereed-vir-gebruik silikonkarbiedwafel te vorm.

Hoe groter die skyfiegrootte, hoe moeiliker is die ooreenstemmende kristalgroei- en verwerkingstegnologie, en hoe hoër die vervaardigingsdoeltreffendheid van stroomaf-toestelle, hoe laer is die eenheidskoste.