Dun films wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word, het almal weerstand, en filmweerstand het 'n direkte impak op die werkverrigting van die toestel. Ons meet gewoonlik nie die absolute weerstand van die film nie, maar gebruik die velweerstand om dit te karakteriseer.
Wat is plaatweerstand en volumeweerstand?
Volumeweerstand, ook bekend as volumeweerstand, is 'n inherente eienskap van 'n materiaal wat kenmerk hoeveel die materiaal die vloei van elektriese stroom belemmer. Algemeen gebruikte simbool ρ verteenwoordig, die eenheid is Ω.
Plaatweerstand, ook bekend as velweerstand, die Engelse naam is velweerstand, wat verwys na die weerstandswaarde van die film per eenheidsoppervlakte. Algemeen gebruikte simbole Rs of ρs om uit te druk, die eenheid is Ω/sq of Ω/□
Die verhouding tussen die twee is: velweerstand = volume weerstand/filmdikte, dit wil sê, Rs =ρ/t
Waarom plaatweerstand meet?
Om die absolute weerstand van 'n film te meet, vereis presiese kennis van die film se geometriese afmetings (lengte, breedte, dikte), wat baie veranderlikes het en baie kompleks is vir baie dun of onreëlmatige gevormde films. Die velweerstand hou slegs verband met die dikte van die film en kan vinnig en direk getoets word sonder ingewikkelde grootteberekeninge.
Watter films moet velweerstand meet?
Oor die algemeen moet geleidende films en halfgeleierfilms vir vierkantige weerstand gemeet word, terwyl isolerende films nie gemeet hoef te word nie.
By halfgeleierdotering word die velweerstand van silikon ook gemeet.
Hoe om vierkante weerstand te meet?
Die vier-sonde metode word algemeen in die bedryf gebruik. Die vier-sonde metode kan vierkantige weerstand meet wat wissel van 1E-3 tot 1E+9Ω/vk. Die vier-sonde metode kan meetfoute vermy as gevolg van kontak weerstand tussen die sonde en die monster.
Meetmetodes:
1) Stel vier lineêr gerangskik probes op die oppervlak van die monster.
2) Pas 'n konstante stroom toe tussen die twee buitenste probes.
3) Bepaal die weerstand deur die potensiaalverskil tussen die twee interne probes te meet
RS: velweerstand
ΔV: Verandering in spanning gemeet tussen interne probes
I: Stroom toegepas tussen buitenste sondes
Postyd: 29-Mrt-2024