Toepassing van silikonkarbiedkeramiek in halfgeleierveld

Halfgeleiers:

Die halfgeleierbedryf volg die nywerheidswet van “een generasie tegnologie, een generasie proses en een generasie toerusting”, en die opgradering en herhaling van halfgeleiertoerusting hang grootliks af van die tegnologiese deurbraak van presisieonderdele. Onder hulle is presisie-keramiekonderdele die mees verteenwoordigende halfgeleier-presisieonderdele-materiale, wat belangrike toepassings het in 'n reeks belangrike halfgeleiervervaardigingsskakels soos chemiese dampneerlegging, fisiese dampneerlegging, iooninplanting en ets. Soos laers, leirelings, voerings, elektrostatiese chucks, meganiese hanteringsarms, ens. Veral binne die toerustingholte speel dit die rol van ondersteuning, beskerming en afleiding.

640

Sedert 2023 het Nederland en Japan ook agtereenvolgens nuwe regulasies of buitelandse handelsbesluite oor beheer uitgevaardig, wat uitvoerlisensieregulasies vir halfgeleiertoerusting, insluitend litografiemasjiene, bygevoeg het, en die neiging van halfgeleier-anti-globalisering het geleidelik na vore gekom. Die belangrikheid van onafhanklike beheer van die voorsieningsketting het al hoe meer prominent geword. Gekonfronteer met die vraag na lokalisering van halfgeleiertoerustingonderdele, bevorder plaaslike maatskappye aktief industriële ontwikkeling. Zhongci Electronics het die lokalisering van hoëtegnologie-presisieonderdele soos verwarmingsplate en elektrostatiese chucks besef, wat die "bottelnek"-probleem van die huishoudelike halfgeleiertoerustingbedryf oplos; Dezhi New Materials, 'n toonaangewende binnelandse verskaffer van SiC-bedekte grafietbasisse en SiC-etsringe, het 'n finansiering van 100 miljoen yuan suksesvol voltooi, ens.
Hoë-geleiding silikonnitried keramiek substrate:

Silikonnitried-keramieksubstrate word hoofsaaklik gebruik in die krageenhede, halfgeleiertoestelle en omskakelaars van suiwer elektriese voertuie (EV's) en hibriede elektriese voertuie (HEV's), en het groot markpotensiaal en toepassingsvooruitsigte.

640 (1)

Op die oomblik vereis die hoë termiese geleidingsvermoë silikonnitried keramiek substraat materiale vir kommersiële toepassings termiese geleidingsvermoë ≥85 W/(m·K), buigsterkte ≥650MPa, en breuktaaiheid 5~7MPa·m1/2. Die maatskappye wat werklik die vermoë het om silikonnitried-keramieksubstrate met 'n hoë termiese geleidingsvermoë in massa te vervaardig, is hoofsaaklik Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa en Japan Fine Ceramics.

Binnelandse navorsing oor silikonnitried-keramieksubstraatmateriale het ook 'n mate van vordering gemaak. Die termiese geleidingsvermoë van die silikonnitride keramieksubstraat wat voorberei is deur die tape-gietproses van Beijing Branch of Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. is 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. het 'n silikonnitried-keramieksubstraat suksesvol voorberei met 'n buigsterkte van 700-800MPa, 'n breuktaaiheid ≥8MPa·m1/2, en 'n termiese geleidingsvermoë ≥80W/(m·K) deur die sintermetode en -proses te optimaliseer.


Postyd: 29 Okt-2024