Isostatiese PECVD-grafietboot

Kort beskrywing:

Isostatiese PECVD grafiet boot word wyd gebruik in verskeie skakels van halfgeleier vervaardiging, soos polisilicon film afsetting, oksied film afsetting, nitride film afsetting, ens. Sy uitstekende werkverrigting maak dit 'n ideale wafer draer in die PECVD proses.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk Tags

SEMICERA isostatiese PECVD-grafietboot is 'n hoë-suiwer, hoë-digtheid grafietproduk wat ontwerp is vir wafer-ondersteuning in die PECVD (plasma-verbeterde chemiese dampneerslag) proses. SEMICERA gebruik gevorderde isostatiese perstegnologie om te verseker dat die grafietboot uitstekende hoë temperatuurweerstand, korrosiebestandheid, dimensionele stabiliteit en goeie termiese geleidingsvermoë het, wat 'n onontbeerlike verbruiksmiddel in die halfgeleiervervaardigingsproses is.

SEMICERA isostatiese PECVD grafietboot het die volgende voordele:

▪ Hoë suiwerheid: Die grafietmateriaal het 'n hoë suiwerheid en 'n lae onsuiwerheidsinhoud om kontaminasie van die wafeloppervlak te vermy.

▪ Hoë digtheid: Hoë digtheid, hoë meganiese sterkte, kan hoë temperature en hoë vakuumomgewing weerstaan.

▪ Goeie dimensionele stabiliteit: Klein dimensionele verandering by hoë temperatuur om prosesstabiliteit te verseker.

▪ Uitstekende termiese geleidingsvermoë: Dra hitte effektief oor om oorverhitting van die wafel te voorkom.

▪ Sterk korrosiebestandheid: In staat om erosie deur verskeie korrosiewe gasse en plasma te weerstaan.

Prestasie parameter	semicera	SGL R6510	Prestasie parameter
Grootmaatdigtheid (g/cm3)	1,91	1,83	1,85
Buigsterkte (MPa)	63	60	49
Druksterkte (MPa)	135	130	103
Shore Hardheid (HS)	70	64	60
Koëffisiënt van termiese uitsetting (10-6/K)	85	105	130
Koëffisiënt van termiese uitsetting (10-6/K)	5,85	4.2	5.0
Weerstand (μΩm)	11-13	13	10

Voordele om ons te kies:
▪ Materiaalkeuse: Hoësuiwer grafietmateriale word gebruik om produkkwaliteit te verseker.
▪ Verwerkingstegnologie: Isostatiese pers word gebruik om produkdigtheid en eenvormigheid te verseker.
▪ Grootte-aanpassing: Grafietbote van verskillende groottes en vorms kan volgens klantbehoeftes aangepas word.
▪ Oppervlakbehandeling: 'n Verskeidenheid oppervlakbehandelingsmetodes word verskaf, soos om silikonkarbied te bedek, boornitried, ens., om aan verskillende prosesvereistes te voldoen.