Semicera bied pasgemaakte hoë gehalte aansilikonkarbied vrykragspanevervaardig om halfgeleiervervaardigingsprosesse te verhoog. Die innoverendeSiC paddleontwerp verseker uitsonderlike duursaamheid en hoë termiese weerstand, wat dit 'n noodsaaklike komponent maak vir wafelhantering in uitdagende hoë-temperatuur omgewings.
DieSilikonkarbied-roeispanis gebou om uiterste termiese siklusse te weerstaan, terwyl strukturele integriteit gehandhaaf word, wat betroubare wafervervoer verseker tydens kritieke fases van halfgeleierproduksie. Met voortreflike meganiese sterkte, hierdiewafer bootverminder die risiko van skade aan wafers, wat lei tot hoër opbrengste en konstante produksiekwaliteit.
Een van die sleutelinnovasies in Semicera se SiC-roeispan lê in sy pasgemaakte ontwerpopsies. Die paddle is aangepas om aan spesifieke produksiebehoeftes te voldoen, en bied buigsaamheid in integrasie met verskeie toerustingopstellings, wat dit 'n ideale oplossing maak vir moderne vervaardigingsprosesse. Die liggewig dog robuuste konstruksie maak maklike hantering moontlik en verminder operasionele stilstand, wat bydra tot verbeterde doeltreffendheid in halfgeleierproduksie.
Benewens sy termiese en meganiese eienskappe, is dieSilikonkarbied-roeispanbied uitstekende chemiese weerstand, wat dit toelaat om betroubaar te presteer selfs in harde chemiese omgewings. Dit maak dit veral geskik vir gebruik in prosesse wat ets, afsetting en hoë-temperatuur behandeling behels, waar die handhawing van die integriteit van die waferboot van kardinale belang is om hoë kwaliteit uitsette te verseker.
| Fisiese eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied | |
| Eiendom | Tipiese waarde |
| Werkstemperatuur (°C) | 1600°C (met suurstof), 1700°C (verminderende omgewing) |
| SiC inhoud | > 99,96% |
| Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
| Grootmaat digtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Skynbare porositeit | < 16% |
| Kompressie sterkte | > 600 MPa |
| Koue buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
| Warm buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termiese uitsetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Termiese geleidingsvermoë @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastiese modulus | 240 GPa |
| Termiese skok weerstand | Uiters goed |
