Semicera Hoë SuiwerheidSilikonkarbiedroeiis noukeurig ontwerp om aan die streng eise van moderne halfgeleiervervaardigingsprosesse te voldoen. HierdieSiC Cantilever Paddleblink uit in hoë-temperatuur omgewings, wat ongeëwenaarde termiese stabiliteit en meganiese duursaamheid bied. Die SiC Cantilever-struktuur is gebou om uiterste toestande te weerstaan, wat betroubare wafelhantering deur verskeie prosesse verseker.
Een van die belangrikste innovasies van dieSiC Paddleis sy liggewig dog robuuste ontwerp, wat maklike integrasie in bestaande stelsels moontlik maak. Sy hoë termiese geleidingsvermoë help om wafelstabiliteit te handhaaf tydens kritieke fases soos ets en afsetting, wat die risiko van wafelskade tot die minimum beperk en hoër produksie-opbrengs verseker. Die gebruik van hoëdigtheid silikonkarbied in die roeispankonstruksie verhoog die weerstand teen slytasie, wat verlengde operasionele lewe bied en die behoefte aan gereelde vervangings verminder.
Semicera plaas 'n sterk klem op innovasie en lewer 'nSiC Cantilever Paddlewat nie net aan bedryfstandaarde voldoen nie, maar dit oortref. Hierdie paddle is geoptimaliseer vir gebruik in verskeie halfgeleiertoepassings, van afsetting tot ets, waar akkuraatheid en betroubaarheid van kardinale belang is. Deur hierdie voorpunt-tegnologie te integreer, kan vervaardigers verbeterde doeltreffendheid, verlaagde onderhoudskoste en konsekwente produkgehalte verwag.
| Fisiese eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied | |
| Eiendom | Tipiese waarde |
| Werkstemperatuur (°C) | 1600°C (met suurstof), 1700°C (verminderende omgewing) |
| SiC inhoud | > 99,96% |
| Gratis Si-inhoud | < 0,1% |
| Grootmaat digtheid | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Skynbare porositeit | < 16% |
| Kompressie sterkte | > 600 MPa |
| Koue buigsterkte | 80-90 MPa (20°C) |
| Warm buigsterkte | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termiese uitsetting @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Termiese geleidingsvermoë @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastiese modulus | 240 GPa |
| Termiese skok weerstand | Uiters goed |
