Hoë suiwer SiC Draer/Susceptor

Kort beskrywing:

Silikonkarbied-draende skyf staan ook bekend as SIC-skinkbord, silikonkarbied-etsskyf, ICP-etsskyf. Silikonkarbiedskinkbord vir LED-ets (SiC-bak) φ600mm is 'n spesiale bykomstigheid vir diep silikon-ets (ICP-etsmasjien).

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk Tags

Beskrywing

Silikonkarbied keramiek het uitstekende meganiese eienskappe by kamertemperatuur, soos hoë sterkte, hoë hardheid, hoë elastiese modulus, ens., Dit het ook uitstekende hoë temperatuurstabiliteit soos hoë termiese geleidingsvermoë, lae termiese uitsettingskoëffisiënt en goeie spesifieke styfheid en optiese verwerkingsprestasie.
Hulle is veral geskik vir die vervaardiging van presisie keramiekonderdele vir geïntegreerde stroombaantoerusting soos litografiemasjiene, hoofsaaklik gebruik om die SiC-draer/susceptor, SiC-waferboot, suigskyf, waterverkoelingsplaat, presisiemeetreflektor, rooster en ander keramiekstruktuuronderdele te vervaardig.

draer 2

draer3

draer4

Voordele

Hoë temperatuur weerstand: normale gebruik by 1800 ℃
Hoë termiese geleidingsvermoë: gelykstaande aan grafietmateriaal
Hoë hardheid: hardheid tweede net na diamant, boornitried
Korrosiebestandheid: sterk suur en alkali het geen korrosie daaraan nie, die korrosiebestandheid is beter as wolframkarbied en alumina
Ligte gewig: lae digtheid, naby aluminium
Geen vervorming: lae koëffisiënt van termiese uitsetting
Termiese skokweerstand: dit kan skerp temperatuurveranderinge weerstaan, termiese skok weerstaan en het stabiele werkverrigting
Silikonkarbieddraer soos sic ets draer, ICP ets susceptor, word wyd gebruik in halfgeleier CVD, vakuum sputtering ens. Ons kan kliënte voorsien van pasgemaakte wafer draers van silikon en silikon karbied materiale om verskillende toepassings te ontmoet.

Voordele

Eiendom	Waarde	Metode
Digtheid	3,21 g/cc	Sink-float en dimensie
Spesifieke hitte	0,66 J/g °K	Gepulseerde laserflits
Buigsterkte	450 MPa560 MPa	4 punt buiging, RT4 punt buiging, 1300°
Breukhardheid	2,94 MPa m1/2	Mikroinkeping
Hardheid	2800	Vicker's, 500g vrag
Elastiese ModulusYoung se Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt-buiging, RT4 pt-buiging, 1300 °C
Korrelgrootte	2 – 10 µm	SEM

Maatskappy profiel

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. is 'n toonaangewende verskaffer van gevorderde halfgeleierkeramiek en die enigste vervaardiger in China wat gelyktydig hoë-suiwer silikonkarbiedkeramiek (veral die Herkristalliseerde SiC) en CVD SiC-bedekking kan verskaf. Daarbenewens is ons maatskappy ook verbind tot keramiekvelde soos alumina, aluminiumnitried, sirkoniumoxide en silikonnitried, ens.

Ons vernaamste produkte sluit in: silikonkarbied-etsskyf, silikonkarbied-bootsleep, silikonkarbiedwafelboot (fotovoltaïese en halfgeleier), silikonkarbied-oondbuis, silikonkarbied-uitkragspan, silikonkarbied-houers, silikonkarbied-balk, die Ta CVD SiC-bedekking, sowel as deklaag. Die produkte wat hoofsaaklik in die halfgeleier- en fotovoltaïese nywerhede gebruik word, soos toerusting vir kristalgroei, epitaksie, ets, verpakking, deklaag- en diffusie-oonde, ens.
oor (2)