Grootmaat CVD SiC-ring

Kort beskrywing:

Grootmaat CVD SiC-ringe gebruik silikonbrongas (soos silikonhidried) en koolstofbrongas (soos metaan) as grondstowwe, wat by hoë temperatuur reageer om grootgrootte SiC-materiale op 'n substraat of vorm neer te sit. Hierdie proses laat SiC toe om eenvormig oor 'n groot area neer te sit, wat 'n sterk en konsekwente ringstruktuur vorm.

Stuur e-pos aan ons

Produkbesonderhede

Produk Tags

Waarom is silikonkarbied-etsring?

RTPCVD SiC ringeword wyd gebruik in industriële en wetenskaplike velde in hoë temperatuur en korrosiewe omgewings. Dit speel 'n belangrike rol in halfgeleiervervaardiging, opto-elektronika, presisiemasjinerie en chemiese industrie. Spesifieke toepassings sluit in:

1. Halfgeleiervervaardiging:RTP CVD SiC ringekan gebruik word vir verhitting en verkoeling van halfgeleiertoerusting, wat stabiele temperatuurbeheer bied en die akkuraatheid en konsekwentheid van die proses verseker.

2. Opto-elektronika: As gevolg van sy uitstekende termiese geleidingsvermoë en hoë temperatuur weerstand, RTPCVD SiC ringekan gebruik word as ondersteuning en hitte-afvoermateriaal vir lasers, optiese vesel kommunikasietoerusting en optiese komponente.

3. Presisiemasjinerie: RTP CVD SiC-ringe kan gebruik word vir presisie-instrumente en -toerusting in hoë temperatuur en korrosiewe omgewings, soos hoë temperatuur oonde, vakuum toestelle en chemiese reaktore.

4. Chemiese industrie: As gevolg van sy korrosiebestandheid en chemiese stabiliteit, kan RTP CVD SiC-ringe in houers, pype en reaktore in chemiese reaksies en katalitiese prosesse gebruik word.

Epi-stelsel

RTP-stelsel

CVD-stelsel

Produk prestasie:

1. Ontmoet die proses onder 28nm

2. Super korrosie weerstand

3. Super skoon prestasie

4. Super hardheid

5. Hoë digtheid

6. Hoë temperatuur weerstand

7. Dra weerstand

Produk toepassing:

Silikonkarbiedmateriale het die kenmerke van hoë hardheid, slytasieweerstand, korrosiebestandheid en hoë temperatuurstabiliteit. Produkte met uitstekende omvattende werkverrigting word wyd gebruik in droë-ets- en TF/diffusieprosesse.