6 Duim n-tipe sic substraat

Kort beskrywing:

6-duim n-tipe SiC-substraat‌ is 'n halfgeleiermateriaal wat gekenmerk word deur die gebruik van 'n 6-duim wafelgrootte, wat die aantal toestelle wat op 'n enkele wafer oor 'n groter oppervlak vervaardig kan word, verhoog, en sodoende toestelvlakkoste verminder . Die ontwikkeling en toepassing van 6-duim n-tipe SiC-substrate het baat gevind by die bevordering van tegnologieë soos die RAF-groeimetode, wat ontwrigtings verminder deur kristalle langs ontwrigtings en parallelle rigtings te sny en kristalle te hergroei, en sodoende die kwaliteit van die substraat te verbeter. Die toepassing van hierdie substraat is van groot belang om die produksiedoeltreffendheid te verbeter en koste van SiC-kragtoestelle te verminder.

 


Produkbesonderhede

Produk Tags

Silikonkarbied (SiC) enkelkristalmateriaal het 'n groot bandgapingswydte (~Si 3 keer), hoë termiese geleidingsvermoë (~Si 3.3 keer of GaAs 10 keer), hoë elektronversadigingsmigrasietempo (~Si 2.5 keer), hoë elektriese deurbraak veld (~Si 10 keer of GaAs 5 keer) en ander uitstaande eienskappe.

Die derde generasie halfgeleiermateriale sluit hoofsaaklik SiC, GaN, diamant, ens. in, omdat die bandgapingswydte (Bv.) groter as of gelyk is aan 2.3 elektronvolt (eV), ook bekend as wyebandgaping halfgeleiermateriale. In vergelyking met die eerste en tweede generasie halfgeleier materiale, het die derde generasie halfgeleier materiale die voordele van hoë termiese geleidingsvermoë, hoë afbreek elektriese veld, hoë versadigde elektronmigrasietempo en hoë bindingsenergie, wat kan voldoen aan die nuwe vereistes van moderne elektroniese tegnologie vir hoë temperatuur, hoë krag, hoë druk, hoë frekwensie en bestraling weerstand en ander moeilike toestande. Dit het belangrike toepassingsvooruitsigte op die gebied van nasionale verdediging, lugvaart, lugvaart, olie-eksplorasie, optiese berging, ens., en kan energieverlies met meer as 50% verminder in baie strategiese industrieë soos breëbandkommunikasie, sonenergie, motorvervaardiging, halfgeleierbeligting, en slim rooster, en kan toerustingvolume met meer as 75% verminder, wat van mylpaalbetekenis is vir die ontwikkeling van menslike wetenskap en tegnologie.

Semicera energy kan kliënte van hoë gehalte geleidende (geleidende), semi-isolerende (semi-isolerende), HPSI (High Purity semi-isolerende) silikonkarbiedsubstraat voorsien; Daarbenewens kan ons kliënte voorsien van homogene en heterogene silikonkarbied epitaksiale velle; Ons kan ook die epitaksiale vel aanpas volgens die spesifieke behoeftes van kliënte, en daar is geen minimum bestelhoeveelheid nie.

BASIESE PRODUKSPESIFIKASIES

Grootte

 6-duim
Deursnee 150.0mm+0mm/-0.2mm
Oppervlakoriëntasie af-as:4° na <1120>±0.5°
Primêre plat lengte 47,5 mm 1,5 mm
Primêre plat oriëntasie <1120>±1,0°
Sekondêre woonstel Geen
Dikte 350.0um±25.0um
Politipe 4H
Geleidende tipe n-tipe

KRISTALKWALITEIT SPESIFIKASIES

6-duim
Item P-MOS Graad P-SBD Graad
Weerstand 0,015Ω·cm-0,025Ω·cm
Politipe Geen toegelaat nie
Mikropypdigtheid ≤0,2/cm2 ≤0,5/cm2
EPD ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
TED ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
BPD ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
TSD ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF (gemeet deur UV-PL-355nm) ≤0,5% oppervlakte ≤1% oppervlakte
Hex plate deur hoë intensiteit lig Geen toegelaat nie
Visuele koolstofinsluitings deur hoë intensiteit lig Kumulatiewe oppervlakte≤0.05%
微信截图_20240822105943

Weerstand

Politipe

6 lnch n-tipe sic substraat (3)
6 lnch n-tipe sic substraat (4)

BPD en TSD

6 lnch n-tipe sic substraat (5)
SiC-wafers

  • Vorige:
  • Volgende: