Silikonkarbied (SiC) enkelkristalmateriaal het 'n groot bandgapingswydte (~Si 3 keer), hoë termiese geleidingsvermoë (~Si 3.3 keer of GaAs 10 keer), hoë elektronversadigingsmigrasietempo (~Si 2.5 keer), hoë elektriese deurbraak veld (~Si 10 keer of GaAs 5 keer) en ander uitstaande eienskappe.
Die derde generasie halfgeleiermateriale sluit hoofsaaklik SiC, GaN, diamant, ens. in, omdat die bandgapingswydte (Bv.) groter as of gelyk is aan 2.3 elektronvolt (eV), ook bekend as wyebandgaping halfgeleiermateriale. In vergelyking met die eerste en tweede generasie halfgeleier materiale, het die derde generasie halfgeleier materiale die voordele van hoë termiese geleidingsvermoë, hoë afbreek elektriese veld, hoë versadigde elektronmigrasietempo en hoë bindingsenergie, wat kan voldoen aan die nuwe vereistes van moderne elektroniese tegnologie vir hoë temperatuur, hoë krag, hoë druk, hoë frekwensie en bestraling weerstand en ander strawwe toestande. Dit het belangrike toepassingsvooruitsigte op die gebied van nasionale verdediging, lugvaart, lugvaart, olie-eksplorasie, optiese berging, ens., en kan energieverlies met meer as 50% verminder in baie strategiese industrieë soos breëbandkommunikasie, sonenergie, motorvervaardiging, halfgeleierbeligting, en slim rooster, en kan toerustingvolume met meer as 75% verminder, wat van mylpaalbetekenis is vir die ontwikkeling van menslike wetenskap en tegnologie.
Semicera energy kan kliënte van hoë gehalte geleidende (geleidende), semi-isolerende (semi-isolerende), HPSI (High Purity semi-isolerende) silikonkarbiedsubstraat voorsien; Daarbenewens kan ons kliënte voorsien van homogene en heterogene silikonkarbied epitaksiale velle; Ons kan ook die epitaksiale vel aanpas volgens die spesifieke behoeftes van kliënte, en daar is geen minimum bestelhoeveelheid nie.
| Items | Produksie | Navorsing | Dummy |
| Kristal parameters | |||
| Politipe | 4H | ||
| Oppervlakoriëntasiefout | <11-20 >4±0.15° | ||
| Elektriese parameters | |||
| Dopant | n-tipe stikstof | ||
| Weerstand | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Meganiese parameters | |||
| Deursnee | 150,0±0,2 mm | ||
| Dikte | 350±25 μm | ||
| Primêre plat oriëntasie | [1-100]±5° | ||
| Primêre plat lengte | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekondêre woonstel | Geen | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Buig | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Skerring | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Voorkant (Si-face) grofheid (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktuur | |||
| Mikropypdigtheid | <1 e/cm2 | <10 e/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metaal onsuiwerhede | ≤5E10atome/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Voorste kwaliteit | |||
| Voorkant | Si | ||
| Oppervlakafwerking | Si-gesig CMP | ||
| Deeltjies | ≤60ea/wafer (grootte≥0.3μm) | NA | |
| Skrape | ≤5ea/mm. Kumulatiewe lengte ≤Diameter | Kumulatiewe lengte≤2*Deursnee | NA |
| Lemoenskil/pitte/vlekke/strepe/ krake/besmetting | Geen | NA | |
| Randskyfies/inkepings/breuk/hex plate | Geen | ||
| Politipe areas | Geen | Kumulatiewe oppervlakte≤20% | Kumulatiewe oppervlakte≤30% |
| Voorste lasermerk | Geen | ||
| Terug kwaliteit | |||
| Agterafwerking | C-gesig CMP | ||
| Skrape | ≤5ea/mm, Kumulatiewe lengte≤2*Deursnee | NA | |
| Rugdefekte (randskyfies/inkepings) | Geen | ||
| Rugheid | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermerk op die rug | 1 mm (van die boonste rand) | ||
| Rand | |||
| Rand | Chamfer | ||
| Verpakking | |||
| Verpakking | Epi-gereed met vakuumverpakking Multi-wafer-kassetverpakking | ||
| *Nota: "NA" beteken geen versoek Items wat nie genoem word nie, kan verwys na SEMI-STD. | |||
